Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd

Peças do núcleo de VTM - módulo de transferência do vácuo da bolacha (auto-pesquisa de Hong Hu)
Introdução ao módulo de transferência a vácuo Honghu
Eixo R (radial):
Faixa de medição: 1010mm
Repetibilidade: ±0,05 mm
Eixo T (rotação):
Faixa: Rotação infinita
Precisão de posicionamento repetida: ±0,003°
Eixo Z (vertical): 50 mm, 100 mm, 150 mm
Precisão de posicionamento repetida: ±0,05 mm
Taxa de vazamento: 1*10-9>5*10-7 vaccum
Particle Perfermence: ISO Level 1
Power Supply: 85 to 265VAC/50HZ, 2.65A/230VAC
Communication: Ethernet Teach Method: Teach Pendant and Robot Studio Software
Operating temperature: 10ºC-40ºC
Storage temperature: -25ºC to 50ºC
Humidity: 50% to 80% (non-condensing)>